化学气相沉积技术及应用研究
2024-01-17
化学气相沉积是一种重要的化学工艺,它可以在高温高压的条件下,通过气相反应将气体中的化学物质沉积到固体表面上,形成一层薄膜。这种技术已经广泛应用于半导体、光电子、纳米材料等领域,成为了现代科技的重要支撑。本文将从多个方面详细介绍化学气相沉积的原理、应用以及发展趋势。 一、化学气相沉积的原理 化学气相沉积是一种高温高压下的气相反应,它的原理可以用一句话来概括:将气体中的化学物质分解成原子或分子,然后在固体表面上重新组合成化合物。这个过程需要一个高温高压的反应环境,通常在几百度到一千度左右,压力在几