离子注入机的核心部位
2024-03-06
离子注入机是半导体工业中非常重要的一种设备,它可以将离子注入到半导体材料中,从而改变其电学性质。离子注入机的核心部位是离子注入器,它是将离子束引入半导体材料的关键部件。本文将从离子注入器的结构、工作原理、性能指标等方面进行详细介绍,希望能够帮助读者更好地了解离子注入机。 一、离子注入器的结构 离子注入器由离子源、加速器、束流限制器、束流扫描器、束流定向器、注入室等部分组成。离子源是离子注入器的核心部件,它可以产生高纯度的离子束。加速器可以将离子束加速到高速度,束流限制器可以限制离子束的直径,束